GB/T 3072-1982
废止
T/CASME 1912-2025
现行
团体标准
T/CASME 1912-2025 半导体用砂轮划片机技术规范
T/CASME 1912-2025 Semiconductor grinding machine technical specification for diamond blade cutting tool
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 1912-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医药、卫生、劳动保护
国际标准分类名称:
导体材料
发布日期:
2025-01-24
实施日期:
2025-02-24
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于切割分离半导体材料砂轮划片机的设计、生产和检验; 主要技术内容:本文件规定了半导体用砂轮划片机的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等
研制信息
起草单位:
沈阳和研科技股份有限公司、江苏京创先进电子科技有限公司、北京中电科电子装备有限公司、合肥艾凯瑞斯智能科技有限公司、锦矽半导体（上海）有限公司、南通伟腾半导体科技有限公司、苏州赛尔科技有限公司、深圳华腾半导体设备有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司、华硕天启（海南）科技发展有限公司
起草人:
石文、杨云龙、郭东、胡天、朱恺华、刘实、冉隆光、宋勇超、刘骏、高阳、孙志超、龚胜、徐志强、杨宏亮、张海岩、李华、任国静、王茹、包开