GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 1740-2025
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
YS/T 1740-2025 Electron-grade trichlorosilane chemical vapor deposition evaluation method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
YS/T 1740-2025
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2025-04-10
实施日期:
2025-11-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
适用范围
适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。