GB/T 3159-1992
被代替
GB/T 39163-2020
现行
国家标准
GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法
GB/T 39163-2020 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
基本信息
标准编号:
GB/T 39163-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属力学性能试验方法
国际标准分类名称:
机械试验
发布日期:
2020-11-19
实施日期:
2021-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注: 靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
起草人:
丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
引用标准
GB/T 228.1-2010 金属材料 拉伸试验 第1部分:室温试验方法
GB/T 228.2-2015 金属材料 拉伸试验 第2部分:高温试验方法
GB/T 8170-1987 数值修约规则
GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 10623-1989 金属力学性能试验术语
GB/T 10623-2008 金属材料 力学性能试验术语
GB/T 16825.1-2002 静力单轴试验机的检验 第1部分:拉力和(或)压力试验机测力系统的检验与校准
GB/T 16825.1-2008 静力单轴试验机的检验 第1部分:拉力和(或)压力试验机 测力系统的检验与校准
GB/T 16825.1-2022 金属材料 静力单轴试验机的检验与校准 第1部分:拉力和(或)压力试验机 测力系统的检验与校准