GB/T 39163-2020 现行 国家标准

GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

GB/T 39163-2020 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

发布日期: 2020-11-19 实施日期: 2021-10-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们

基本信息

标准编号: GB/T 39163-2020
标准类型: 国家级标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 金属力学性能试验方法
国际标准分类名称: 机械试验
发布日期: 2020-11-19
实施日期: 2021-10-01
发布单位/组织: 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数: 12 页

适用范围

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注: 靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

研制信息

起草单位:

有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司

起草人:

丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军

字数: 22 千字 页数: 12 页

引用标准

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