GB/T 2684-1981
被代替
YS/T 1031-2015
废止
行业标准-有色金属
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
YS/T 1031-2015 Chemical vapor deposition furnace
基本信息
标准编号:
YS/T 1031-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
炼焦、烧结设备
国际标准分类名称:
冶金设备
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于化学气相沉积。
研制信息
起草单位:
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人:
戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华
引用标准
GB/T 3163-2007 真空技术 术语
GB/T 10066.1-2004 电热设备的试验方法 第1部分：通用部分
GB/T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉
GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分：通用部分
GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分：间接电阻炉
YS/T 778-2011 真空脱脂烧结炉
GB 5959.1-1986 电热设备的安全 第一部分 通用要求
GB 5959.1-2005 电热装置的安全 第1部分：通用要求
GB/T 5959.1-2019 电热和电磁处理装置的安全 第1部分：通用要求
GB 5959.4-1992 电热设备的安全 第四部分 对电阻炉的通用要求
GB 5959.4-2008 电热装置的安全 第4部分：对电阻加热装置的特殊要求
JB/T 10550-2006 真空技术 真空烧结炉