GB/T 14264-1993
被代替
T/CASME 1846-2024
现行
团体标准
T/CASME 1846-2024 半导体设备零配件清洗技术规范
T/CASME 1846-2024 Semiconductor equipment component cleaning technical specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 1846-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2024-12-25
实施日期:
2024-12-31
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于没有经过喷漆或电镀的半导体设备零配件的清洗; 主要技术内容:本文件规定了半导体设备零配件清洗的一般要求、表面处理、化学清洗、外观面检验、标识、包装和贮存
研制信息
起草单位:
苏州飞思达精密机械有限公司、苏州艾布纳精密机械有限公司、苏州大魏模具科技有限公司
起草人:
张忠华、郝振兴、魏宏准