GB 6738-1986
废止
GB/T 31472-2015
现行
国家标准
GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
GB/T 31472-2015 Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
基本信息
标准编号:
GB/T 31472-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
综合测试系统
国际标准分类名称:
电和磁量值的测量
发布日期:
2015-05-15
实施日期:
2016-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
14 页
适用范围
本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。
研制信息
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人:
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔