GB/T 4965-1985
现行
T/QGCML 4572-2024
现行
团体标准
T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
T/QGCML 4572-2024 The production and manufacturing specifications for high-precision, ultra-clean wafer clamps
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 4572-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
电子元器件综合
发布日期:
2024-08-12
实施日期:
2024-08-27
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造
研制信息
起草单位:
常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
起草人:
罗中平、雷超、赵鹏志