GB/T 8446.2-2022
现行
T/CITS 159-2024
现行
团体标准
T/CITS 159-2024 等离子体用射频电源技术规范
T/CITS 159-2024 The specification for using radio frequency power supply for plasma
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CITS 159-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
机电元件综合
发布日期:
2024-10-22
实施日期:
2024-10-22
归口单位:
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。 本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景; 主要技术内容:本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景
研制信息
起草单位:
中国科学院合肥物质科学研究院、安徽曦融兆波科技有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、北京市科学技术研究院、成都德芯数字科技股份有限公司、上海交通大学、深圳市新凯来工业机器有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人:
张新军、朱光辉、朱国俊、杨小春、金小越、李俊、吴林晟、周义兴、李贺、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、徐敬铭、包瑾、徐琳