GB/T 14264-1993
被代替
T/QDAS 094-2022
现行
团体标准
T/QDAS 094-2022 二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方
T/QDAS 094-2022 The mixed acid formulation for cleaning GPP trench diodes
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QDAS 094-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2022-07-22
实施日期:
2022-07-22
归口单位:
青岛市标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。本文件适用于采用二极管（包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等）湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制
研制信息
起草单位:
青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子科技有限公司
起草人:
李德鹏、张光展、程文娟、徐海涛、李中亮