GB/T 5295-1985
被代替
T/ZS 0344-2022
现行
团体标准
T/ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机
T/ZS 0344-2022 Digital Maskless Laser Direct Writing Lithography Machine
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZS 0344-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
仪器、仪表
国际标准分类名称:
光电子学、激光设备
发布日期:
2022-11-10
实施日期:
2022-11-17
归口单位:
浙江省产品与工程标准化协会
适用范围
主要技术内容:前言1 范围2 规范性引用文件3 术语和定义4 产品分类5 工作环境6 要求6.1 外观、尺寸和重量6.2 主要性能6.3 安全要求6.4 噪声7 试验方法7.1 试验条件7.2 外观检查及尺寸、重量测量7.3 性能试验7.4 安全检查7.5 噪声试验8 检验规则8.1 检验分类8.2 出厂检验8.3 型式检验8.4 判定规则9 标志、包装、运输、贮存9.1 标志9.2 包装9.3 运输9.4 贮存
研制信息
起草单位:
杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)有限公司、纳晶科技股份有限公司
起草人:
陈超、敦士军、王鹏、尚小兵、唐战备、廖平强、零萍、王珺、朱培武、乔家亿、周绍平、简红、许贝贝、周国尊、康永印、陈锡媛、沈肖蓉