GB/T 16784.1-1997
被代替
T/CQPRA 0025-2025
废止
团体标准
T/CQPRA 0025-2025 半导体热处理硅舟技术规范
T/CQPRA 0025-2025 Technical Specification for Silicon Boats Used in Semiconductor Thermal Processing
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CQPRA 0025-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
服务综合
发布日期:
2025-12-02
实施日期:
2025-12-02
归口单位:
重庆市国际国内公共关系协会
适用范围
本文件适用于扩散、退火、氧化等高温工艺中使用的石墨、碳化硅及石墨基涂层硅舟。其他用于高温承载用途的治具可参照执行，本文件亦可供制造单位、使用单位及检验机构参考使用。 本文件规定了用于半导体制造中热处理工序的硅舟的技术要求、试验方法、检验规则及标识、包装和贮运要求。具体详见标准文件
研制信息
起草单位:
江山市检验检测研究院、浙江省质量科学研究院、常山县检验检测研究院、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、衢州市计量质量检验研究院、浙江夏王纸业有限公司、厦门市华夏国鉴教育研究院
起草人:
祝超、汤知源、邵文杰、刘琳笑、周斌、叶慧、徐璐玲、刘晓政、祝嘉豪、祝建敏、傅文涛、吕斌、徐匡荣、罗申、卢正