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DB31/ 506-2020 现行
DB31/ 506-2020 The energy consumption limit per unit product for integrated circuit wafer manufacturing units
简介
本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。
通用商品信息
| 委员会 | 上海市能源标准化技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 上海市地方标准 |
| 发布单位 | 上海市市场监督管理局 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | DB31/ 506-2020 |
| CCS | 技术管理 |
| ICS | 能源和热传导工程综合 |
| 实施日期 | 2020-12-01 |
价格
$ 32
小计
$ 32
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 32