GB/T 3794-1983
废止
DB31/ 506-2020
现行
上海市地方标准
DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
DB31/ 506-2020 The energy consumption limit per unit product for integrated circuit wafer manufacturing units
基本信息
标准编号:
DB31/ 506-2020
标准类型:
地方标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
技术管理
国际标准分类名称:
能源和热传导工程综合
发布日期:
2020-09-25
实施日期:
2020-12-01
发布单位/组织:
上海市市场监督管理局
归口单位:
上海市能源标准化技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。
研制信息
起草单位:
上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司
起草人:
陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红