PDF
YS/T 837-2012 现行
YS/T 837-2012 Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
简介
本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
通用商品信息
| 委员会 | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
|---|---|
| 文献类型 | 行业标准-有色金属 |
| 发布单位 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | YS/T 837-2012 |
| CCS | 贵金属及其合金 |
| ICS | 其他有色金属及其合金 |
| 实施日期 | 2013-03-01 |
价格
$ 32
小计
$ 32
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 32