GB/T 13840-1992
废止
YS/T 837-2012
现行
行业标准-有色金属
YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 837-2012 Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
基本信息
标准编号:
YS/T 837-2012
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属及其合金
发布日期:
2012-11-07
实施日期:
2013-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所
起草人:
刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平
引用标准
GJB 1580A
GJB 9712A
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