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GB/T 14603-2009
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
简介
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 14603-2009 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
价格
$ 31.00
小计
$ 31.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 31.00