GB 4962-1985
被代替
GB/T 14603-2009
被代替
国家标准
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
GB/T 14603-2009 Gases for electronic industry—Boron trifluoride
基本信息
标准编号:
GB/T 14603-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
页数:
16 页
适用范围
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。
研制信息
起草单位:
核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
起草人:
邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云