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GB/T 14851-2009 现行
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
简介
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：PH3。
相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 14851-2009 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
价格
$ 29.00
小计
$ 29.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 29.00