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GB/T 30116-2013 现行
GB/T 30116-2013 Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
简介
本标准规定了为保证半导体生产设施与用于生产半导体器件的设备能一起可靠运行的电磁兼容性（EMC）要求。
本标准适用于生产半导体器件的设施和设备，这些设施和设备涵盖所有的设施警报、安全、通信与控制系统、工艺设备、测量设备、自动化设备以及信息技术设备。
本标准不适用于集成电路的封装与功能测试所采用的设备和设施，也不适用于可能在半导体生产过程中产生的静电。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 30116-2013 |
| CCS | 电子工业生产设备 |
| ICS | 电子产品生产设备 |
| 实施日期 | 2014-04-15 |
价格
$ 50
小计
$ 50
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50