GB/T 15861-2012
现行
GB/T 30116-2013
现行
国家标准
GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
GB/T 30116-2013 Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
基本信息
标准编号:
GB/T 30116-2013
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2013-12-17
实施日期:
2014-04-15
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了为保证半导体生产设施与用于生产半导体器件的设备能一起可靠运行的电磁兼容性（EMC）要求。
本标准适用于生产半导体器件的设施和设备，这些设施和设备涵盖所有的设施警报、安全、通信与控制系统、工艺设备、测量设备、自动化设备以及信息技术设备。
本标准不适用于集成电路的封装与功能测试所采用的设备和设施，也不适用于可能在半导体生产过程中产生的静电。
研制信息
起草单位:
工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司
起草人:
黄英华、谭建国、刘军、周历群、钟华、冯亚彬
引用标准
GB/T 17626.2-2006 电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验
GB/T 17626.3-2006 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验
GB/T 17626.4-2008 电磁兼容 试验和测量技术 电快速瞬变脉冲群抗扰度试验
GB/T 17626.5-2008 电磁兼容 试验和测量技术 浪涌(冲击)抗扰度试验
GB/T 17626.16-2007 电磁兼容 试验和测量技术 0Hz～150kHz共模传导骚扰抗扰度试验
GB 9254-1998 信息技术设备的无线电骚扰限值和测量方法
GB/T 9254-2008 信息技术设备的无线电骚扰限值和测量方法
GB/T 9254.1-2021 信息技术设备、多媒体设备和接收机 电磁兼容 第1部分: 发射要求
GB/T 9254.2-2021 信息技术设备、多媒体设备和接收机 电磁兼容 第2部分：抗扰度要求