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T/GVS 014-2024 现行
T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范
简介
范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果
通用商品信息
| 委员会 | 广东省真空学会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 014-2024 |
| CCS | 机械 |
| ICS | 真空技术 |
| 实施日期 | 2024-08-02 |
价格
$ 20.00
小计
$ 20.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 20.00