GB/T 3163-1993
被代替
T/GVS 014-2024
现行
团体标准
T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范
T/GVS 014-2024 Low-temperature pump evaluation specification for semiconductor equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GVS 014-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
机械
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2024-08-02
实施日期:
2024-08-02
归口单位:
广东省真空学会
页数:
17 页
适用范围
范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果
研制信息
起草单位:
中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司
起草人:
胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏