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T/CI 334-2024 现行
T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求
简介
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
通用商品信息
| 文献类型 | 团体标准 |
|---|---|
| 发布单位 | 中国国际科技促进会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CI 334-2024 |
| 实施日期 | 1970-01-01 |
价格
$ 31.00
小计
$ 31.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 31.00