DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CI 334-2024
现行
团体标准
T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求
T/CI 334-2024 Design and technical requirements for vibration isolation system for semiconductor equipment
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/CI 334-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国国际科技促进会
适用范围
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。