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GB/T 31352-2014 现行
GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
简介
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。
本标准适用于直径50.8 mm～304.8 mm，厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 31352-2014 |
| CCS | 金属物理性能试验方法 |
| ICS | 金属材料的其他试验方法 |
| 实施日期 | 2015-09-01 |
价格
$ 33.00
小计
$ 33.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 33.00