GB/T 1423-1996
现行
GB/T 31352-2014
现行
国家标准
GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 31352-2014 Test methods for warp of sapphire substrates
基本信息
标准编号:
GB/T 31352-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料的其他试验方法
发布日期:
2014-12-31
实施日期:
2015-09-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。
本标准适用于直径50.8 mm～304.8 mm，厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。
研制信息
起草单位:
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:
薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、夏根平、肖宗杰