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GB/T 34972-2017 现行
GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
简介
本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 34972-2017 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 化学分析 |
| 实施日期 | 2018-02-01 |
价格
$ 33.00
小计
$ 33.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 33.00