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GB/T 15862-1995
GB/T 15862-1995 Generic specification for ion implantation equipment
通用商品信息
| 委员会 | 电子工业部标准化研究所 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家技术监督局 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 15862-1995 |
| CCS | 加工专用设备 |
| ICS | 集成电路、微电子学 |
| 实施日期 | 1996-08-01 |
价格
$ 44
小计
$ 44
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 44