GB/T 4855-1984
废止
GB/T 15862-1995
被代替
国家标准
GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
GB/T 15862-1995 Generic specification for ion implantation equipment
基本信息
标准编号:
GB/T 15862-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1995-12-22
实施日期:
1996-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
9 页
研制信息
起草单位:
电子工业部第四十八研究所
起草人:
颜亨迪、廖温初