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GB/T 14139-2019 现行
GB/T 14139-2019 Silicon epitaxial wafers
简介
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 14139-2019 |
| CCS | 元素半导体材料 |
| ICS | 半导体材料 |
| 实施日期 | 2020-05-01 |
价格
$ 50
小计
$ 50
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50