GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14139-2019
现行
国家标准
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 14139-2019 Silicon epitaxial wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 14139-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2019-06-04
实施日期:
2020-05-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
研制信息
起草单位:
浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司
起草人:
张海英、李慎重、蒋玉龙、骆红、胡金枝、卢立延、李素青
替代以下标准
引用标准
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
SEMI M85
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