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GB/T 44538-2024 现行
GB/T 44538-2024 Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
简介
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
通用商品信息
| 委员会 | 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 44538-2024 |
| CCS | 材料防护 |
| ICS | 其他处理和镀涂 |
| 实施日期 | 2025-04-01 |
价格
$ 50
小计
$ 50
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50