GB/T 17457-1998
被代替
GB/T 44538-2024
现行
国家标准
GB/T 44538-2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
GB/T 44538-2024 Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
价格:
$ 50
基本信息
标准编号:
GB/T 44538-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
材料防护
国际标准分类名称:
其他处理和镀涂
发布日期:
2024-09-29
实施日期:
2025-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57)
页数:
12 页
适用范围
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
研制信息
起草单位:
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
起草人:
段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺
采用标准
ISO 23216:2021