PDF
GB/T 37466-2019 现行
GB/T 37466-2019 Laser lift-off equipment used for GaN
简介
本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 37466-2019 |
| CCS | 电子工业生产设备 |
| ICS | 电子产品生产设备 |
| 实施日期 | 2019-10-01 |
价格
$ 66
小计
$ 66
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 66