GB/T 15861-2012
现行
GB/T 37466-2019
现行
国家标准
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 Laser lift-off equipment used for GaN
基本信息
标准编号:
GB/T 37466-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2019-06-04
实施日期:
2019-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
17 页
适用范围
本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
研制信息
起草单位:
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青
引用标准
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