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GB/T 31351-2014
GB/T 31351-2014 Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
简介
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 31351-2014 |
| CCS | 金属无损检验方法 |
| ICS | 金属材料的其他试验方法 |
| 实施日期 | 2015-09-01 |
价格
$ 36
小计
$ 36
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 36