GB/T 1423-1996
现行
GB/T 31351-2014
被代替
国家标准
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
GB/T 31351-2014 Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 31351-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属无损检验方法
国际标准分类名称:
金属材料的其他试验方法
发布日期:
2014-12-31
实施日期:
2015-09-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
研制信息
起草单位:
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人:
陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲