PDF
GB/T 20176-2025 现行
GB/T 20176-2025 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
简介
本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3。
通用商品信息
| 委员会 | 全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 20176-2025 |
| CCS | 基础标准与通用方法 |
| ICS | 化学分析 |
| 实施日期 | 2026-01-01 |
价格
$ 50.00
小计
$ 50.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50.00