GB/T 3143-1982
现行
GB/T 20176-2025
现行
国家标准
GB/T 20176-2025 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 20176-2025 Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
价格:
$ 50.00
基本信息
标准编号:
GB/T 20176-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2025-06-30
实施日期:
2026-01-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
页数:
24 页
适用范围
本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3。
研制信息
起草单位:
清华大学、中国地质大学(北京)、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学、中山大学、中国工程物理研究院材料研究所
起草人:
李展平、郭冲、王梦琴、和平、王富芳、刘兆伦、郎玉博、李芹、张硕、刘可心、吴美璇、陈建、伏晓国
替代以下标准
引用标准
ISO 5725-2
ISO 17560
ISO 18114
采用标准
ISO 14237:2010