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GB/T 39159-2020 现行
GB/T 39159-2020 High purity copper alloy target for integrated circuit
简介
本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。
通用商品信息
| 委员会 | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 39159-2020 |
| CCS | 重金属及其合金 |
| ICS | 铜产品 |
| 实施日期 | 2021-10-01 |
价格
$ 54
小计
$ 54
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 54