GB/T 18033-2000
被代替
GB/T 39159-2020
现行
国家标准
GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
GB/T 39159-2020 High purity copper alloy target for integrated circuit
基本信息
标准编号:
GB/T 39159-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
重金属及其合金
国际标准分类名称:
铜产品
发布日期:
2020-11-19
实施日期:
2021-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。
研制信息
起草单位:
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司
起草人:
曹欢欢、袁海军、姚力军、王学泽、曾浩、边逸军、钟伟华、周友平、贺昕、慕二龙、高岩、江伟龙
引用标准
GB/T 8170-1987 数值修约规则
GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 8651-2002 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 8651-2015 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 36165-2018 金属平均晶粒度的测定 电子背散射衍射(EBSD)法
YS/T 347-2004 铜及铜合金 平均晶粒度测定方法
YS/T 482-2005 铜及铜合金分析方法 光电发射光谱法
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YS/T 922-2013 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 347-2020 铜及铜合金平均晶粒度测定方法
YS/T 482-2022 铜及铜合金分析方法 火花放电原子发射光谱法