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YS/T 15-2015 现行

YS/T 15-2015 Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain

可用格式
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语言
中文版
发布日期
2015-04-30
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部

简介

本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量,测量范围为1 μm~100 μm。

通用商品信息

委员会 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
文献类型 行业标准-有色金属
发布单位 中华人民共和国工业和信息化部
标准状态 现行
标准编号 YS/T 15-2015
CCS 金属物理性能试验方法
ICS 金属材料试验
实施日期 2015-10-01
价格 $ 29
小计 $ 29
税费 $ 0.00
订单总额(含税) $ 29

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