GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 15-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
YS/T 15-2015 Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
基本信息
标准编号:
YS/T 15-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。
研制信息
起草单位:
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人:
马林宝、杨帆、葛华、孙燕、徐新华
替代以下标准
引用标准
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