PDF
GB/T 31987-2015 现行
GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
简介
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 31987-2015 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2016-05-01 |
价格
$ 33.00
小计
$ 33.00
税费
$ 0.00
订单总额(含税)
$ 33.00