GB/T 31987-2015 现行 国家标准

GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

GB/T 31987-2015 Gas for electronic industry—Germane

发布日期: 2015-09-11 实施日期: 2016-05-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们

基本信息

标准编号: GB/T 31987-2015
标准类型: 国家级标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 工业气体与化学气体
国际标准分类名称: 工业气体
发布日期: 2015-09-11
实施日期: 2016-05-01
发布单位/组织: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数: 7 页

适用范围

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。

研制信息

起草单位:

上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司

起草人:

方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云

字数: 12 千字 页数: 7 页

引用标准

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