DZ/T 0101.12-1994
现行
SJ 21262-2018
现行
行业标准-电子
SJ 21262-2018 MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
SJ 21262-2018 Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ 21262-2018
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
归口单位:
工业和信息化部电子第四研究院
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人:
冯楠、杨拥军、杨琳、李倩、李丽霞、任倩婷、卢新艳