GB 4962-1985
被代替
GB/T 14601-2009
现行
国家标准
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 14601-2009 Gas for electronic industry—Ammonia
基本信息
标准编号:
GB/T 14601-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
页数:
9 页
适用范围
本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式：NH3。
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。
研制信息
起草单位:
大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
起草人:
孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云