MT/T 707-1997
被代替
T/GVS 015-2024
现行
团体标准
T/GVS 015-2024 远程等离子体源的解离率测试方法
T/GVS 015-2024 Remote plasma source dissociation rate testing method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GVS 015-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
仪器、仪表
国际标准分类名称:
有关分析化学的其他标准
发布日期:
2024-10-10
实施日期:
2024-10-10
归口单位:
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试; 主要技术内容:规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告
研制信息
起草单位:
季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司
起草人:
胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红