GB 4962-1985
被代替
GB/T 15909-2017
现行
国家标准
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GB/T 15909-2017 Gas for electronic industry—Silane
基本信息
标准编号:
GB/T 15909-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2017-05-31
实施日期:
2017-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。 它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。分子式：SiH4。相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。
研制信息
起草单位:
西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司
起草人:
余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕
替代以下标准
引用标准
危险化学品安全管理条例
特种设备安全监察条例
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1部分：电解法
GB/T 5832.1-2016 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB/T 11446.1-1997 电子级水
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 28726-2025 气体分析 氦离子化气相色谱法