GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 33763-2017
现行
国家标准
GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
GB/T 33763-2017 Test method for dislocation density of sapphire single crystal
基本信息
标准编号:
GB/T 33763-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属化学性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2017-05-31
实施日期:
2017-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。
本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2～100 000个/cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。
研制信息
起草单位:
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司
起草人:
薛抗美、黄修康、杭寅、尹继刚、田野、张永波、张毅